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半導(dǎo)體微污染防治設(shè)備

Standalone

產(chǎn)品詳情

充氣流量

0 – 50 SLM(質(zhì)量流量控制器)

充氣時間

0 – 600 秒

內(nèi)建RFID Reader

支援設(shè)定 Recipe

實時濕度、氧氣濃度監(jiān)控

支援 Alarm 與 FDC 功能