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半導(dǎo)體自動(dòng)化設(shè)備

FOUP自動(dòng)倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)STK

產(chǎn)品特點(diǎn)：

連接 MCS/MES全自動(dòng) Run貨。

內(nèi)建RFID Reader、E84 Sensor。

支持  12 inch FOUP。

振動(dòng)值符合高階制程<0.35G的要求。

格位數(shù)根據(jù)客戶場(chǎng)地規(guī)劃設(shè)計(jì)。